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仪器设备
仪器简介

CL8200 MK5型阴极发光装置

作者:   发布日期:2018-09-18

仪器名称:CL8200 MK5型阴极发光装置

仪器编号:CITL0249

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仪器负责人:赵新福

联系方式:18507149986

样品测试负责人:苏建辉

联系方式:13006119970

技术指标:

电子束入射方式:直射式电子束激发方式,避免平射式电子枪加上偏转磁铁而产生亮度不均匀的光斑

操作模式:自动/手动模式

真空腔设计:电子枪及盖板整合为一体,体积小,轻便,真空腔厚度小于4.0cm

样品台设计:单轴评议XY轴,轴内采用硅橡胶O型圈软密封,密封效果良好;

真空密封要求:样品抽屉、盖板等部件使用规范燕尾槽真空密封设计;固态真空计;可通入氦气、氩气等

电子枪的样品盖板工作距离为5-9mm

显示屏:数字显示高压、电流、真空度、及一起状态、kV开启、电子枪输出极限,真空控制阀操控,内部电流输出诊断信息和控制参数等指标

阴极高压:0-30kV,过压保护功能

电子束流:0-2000μA束流,过流保护功能

极限真空度:0.003mBa=0.3pa,自动比例阀,维持稳定束流和电压

样品室底部窗口用于显微镜透射光使用

电源:220V50Hz交流电源

使用环境:温度<30℃、湿度<60%

 

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