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仪器设备
仪器简介

场发射扫描电子显微镜

作者:刘卉   发布日期:2012-03-28

主机 场发射扫描电子显微镜(FEG-SEM

附件 电子背散射衍射仪(EBSD

X射线能谱仪(EDS

阴极荧光谱仪CL

型号 Quanta 450 FEG FEG-SEM

Nordlys & Channel 5.0 EBSD

SDD Inca X-Max 50 EDS

MonoCL4+(CL)

厂家 FEI有限公司(FEG-SEM

HKL公司(EBSD

牛津仪器分析有限公司(EDS

Gatan公司(GatanMonoCL4+

仪器主要性能指标

FEI Quanta 450 FEG-SEM

Ÿ 分辨率:

高真空 1.2 nm at 30 kV (SE)

2.5 nm at 30 kV (BSE)

3.0 nm at 01 kV (SE)

低真空 1.4 nm at 30 kV (SE)

2.5 nm at 30 kV (BSE)

3.0 nm at 01 kV (SE)

环境真空 1.4 nm at 30 kV (SE)

Ÿ 放大倍数:6 - 1,000,000×

Ÿ 加速电压:200V - 30kV,连续可调.

Ÿ 电子枪:高稳定性Schottky热场发射电子枪.

Ÿ 样品室真空:高真空(< 6e-4pa)、低真空(<10 -130pa)ESEM环境真空(<10 -4000pa).

Ÿ 样品室:X=Y=100mmZ=60 mm,倾斜 5°- +70°,连续旋转 360°,重复精度2μm.

Ÿ 图像处理器:最大4096×3536像素,文件格式包括有 TIFF(8位或16)BMPJPEG.

HKL Nordlys & Channel 5.0 EBSD

Ÿ 测量对象:支持11种劳厄群和230种空间群的所有晶体和矿物.

Ÿ 探测器灵敏度:3kV时能采集到花样

Ÿ 工作距离:5-40 mm

Ÿ 空间分辨率:0.1μm

Ÿ 角度分辨率:0.5°

Ÿ 花样分辨率:1344×1024 pixel

Oxford SDD Inca X-Max 50 EDS

Ÿ 分析元素范围:Be4 - Pu94

Ÿ 分辨率:优于129eV (在Mn Kα处)

Ÿ 峰背比:20,000 : 1 Fe 55Mn Kα

Ÿ 计数率:输入>1000 kCPS

输出 >300 kCPS.

Ÿ 稳定性:计数率1,000-100,000CPS情况下,谱峰漂移 <1ev ,分辨率变化<1eV 48小时内谱峰漂移 <1ev (mn kα).

主要应用范围,可开展的研究项目:

场发射环境扫描电镜型号为FEI公司Quanta 450 FEG,是一款兼容性很强的设备,同时配备有X射线能谱仪(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)和阴极发光(型号MonoCL4+等附件,实现图像、成分和结构的一体化分析功能。其中:扫描电镜系统(FEG SEM)配有三种真空(高真空,低真空和环境真空)模式,采用先进的系统结构平台和全数字化系统控制,可在所有真空条件下对各种样品(包括导电样品、不导电样品、含水样品、生物样品等)进行二次电子、背散射电子的静态、动态观察和微观分析;EDS用于微区成分分析,元素分析范围是Be4~Pu94,并具备点、线、面分析功能;EBSD用于晶体取向、微织构分析、物相鉴定、应变和真实晶粒尺寸测量等。该仪器设备广泛应用于地质、材料、冶金、化学、环境和生物等学科领域,同时实现高分辨形貌观察、微区成分测量和显微结构分析。同时,由于该设备对于样品处理环节省略使样品可以保持原始状态,保证了数据的真实性,可重复性得到了最大限度的保证,真正实现了无损检测,是公安、医学、生物、材料和地球科学等领域重要基础测试分析仪器设备。

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